途和特點
氣體質量流量控制器（MFC）在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝設備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結構

氣體質量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質量流量計的基礎上，再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源，3位半數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術指標

編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程

質量流量計：質量流量計只是單純的顯示流量但并不控制。

質量流量控制器：質量流量控制器既能顯示顯示流量又有控制功能，流量計內部多了個電磁調節閥來實現控制流量大小。